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名 称:阿自倍尔泰事达机电设备(上海)有限公司认 证:工商信息已核实
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产品简介
Technical Data:
技术参数:
Shape: Horizontal design.
外形:水平设计
Chamber dimensions: ? = 1,7 m, Length = 3,5 m.
腔体尺寸:? = 1,7 m, Length = 3,5 m.
Vacuum better than: 1x10-5 mbar.
真空度:<1x10-5 mbar.
Temperature range: from –55oC to +120oC.
温度范围:–55oC to +120oC
Heating/Cooling speed at the shrouds: 1oC/min.
导热层加热冷却速率: 1oC/min.
Shroud temperature uniformity: 2oC.
导热层温度均匀性: 2oC
Working surface: optical table.
工作台面:光学桌子
特殊设计:
Table supported on a seismic block, isolated from chamber supports.
工作桌面区别于腔体,单独固定在一个防震区块上。
4 shroud zones with independent temperature control.
四个区域拥有单独的温度控制模块。
TCU and vacuum pumps are in separated machinery room.
温度控制模块和真空泵在不同的房间
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